富創精密由沈陽先進、遼寧科發和 Fortrend 于 2008 年共同出資設立，主要生 產半導體金屬零部件。公司初期的產品,多為 90 納米以上制程零部件和非反應腔 的外部零部件。2011 年，公司成功向海外半導體設備龍頭客戶 A 交付了首款零 部件產品並成為其合格供應商。針對國內市場，富創精密 2011 至 2014 年期間， 向 10 餘家國產設備企業交付了 1000 餘種精密零部件。 2011 年和 2014 年，公司兩次承擔國家“02 重大專項”，分別對“IC 設備關鍵 集成制造技術與加工平台”和“基于焊接和表面塗覆技術的大型鋁件制造技術開 發”項目進行研發。期間公司掌握了復合焊接，精密加工WRITE AS 爸爸，特種塗層噴塗，超強 防腐等核心技術，半導體零部件制造的工藝技術達到主流國際客戶標準，成為客 戶 A 的戰略供應商，並為東京電子、VAT、HITACHI High-Tech、ASMI 等 企業供貨。公司還為處于起步階段的北方華創等國內設備企業提供研發及小批量 生產所需的零部件。隨著國產化設備實現批量出貨，研發階段就提供配套零件的 富創精密順利取得大量訂單，營收高速增長。
公司氣體管路和模組部件制造能力日趨完善，部分產品已應用于 7nm 制程的半導體 設備，在江蘇南通和北京馬駒橋等地的擴產也納入日程。目前公司主要產品包括工藝 零部件、結構零部件亞美體育，、模組產品、氣體管路產品四大類；其中工藝零部件包括過渡腔、 傳輸腔、內襯等，結構零部件包括託盤軸、鑄鋼平台等，模組產品包括離子注入機模 組、氣櫃等。
受疫情居家類電子產品，新能源汽車等需求旺盛的影響，全球半導體市場自 2020 年下半年起進入上行週期，晶圓廠大幅擴產，上遊的半導體設備與零部件產業景 氣度也隨之提升。公司作為客戶 A、北方華創等設備企業的供應商，充分受益于 行業景氣，營收與利潤增長提速。2019-2021 年，富創精密的營業收入分別為 2.53/4.81/8.43 億 ，同 比增 速分 別 為 12.63%/89.94%/75.21% ；歸 母淨 利潤 - 0.33/0.94/1.26 億元，實現快速增長。2022H1 公司實現收入 5.98 億元，同比+73.16%； 歸母淨利潤 1.01 億元，同比+129.59%。
富創精密在手訂單充裕，產能利用率持續提升。2022H1 公司合同負債 0.33 億元， 庫存在產品 0.92 億元，庫存產成品 1.64 億元，保持上升態勢。公司產能利用率 亦持續提升，2021 年工藝及結構零部件產能利用率達 90.17%，同比+8.96 pct；氣 體管路產品產能利用率達 63.18%，同比+39.86 pct。
費用端來看，公司研發費用率位于行業前列。隨著工藝積累和技術成熟，公司研 發從承接國家“02 重大專項”課題為主過渡到自研項目為主。2021 年開始，公司 大幅加大研發投入，為後續發展進行工藝儲備。同時由于收入規模大幅增長，公 司研發費用率下降，銷售和管理費用率亦有所攤薄WRITE AS 爸爸。
公司實際控制人為鄭廣文，直接+間接持股比例達到 34.03%。沈陽先進持有公司 22.55%股份，為公司第一大股東。 寧波芯富、寧波良芯、寧波芯芯是公司員工持 股平台，同樣受鄭廣文控制。 鄭廣文畢業于吉林工業大學技術經濟專業，1990 至 2007 年間曾擔任遼寧省汽車 貿易集團科長，後辭職成立遼寧汽車物資銷售中心。2003 年，因中國科學院沈陽 自動化研究所旗下沈陽先進擬引入投資者亞美體育app官方，鄭廣文認可沈陽自動化研究所的相關 技術資源和產業化機會，從而投資入股沈陽先進，業務逐步擴展至高端精密制造 領域。
半導體設備零部件可以分為機械類、電氣類、機電一體類、氣體/液體/真空系統 類、儀器儀表類、光學類、其他等七大類。其中機械類零部件在半導體設備成本 中佔比最高，達到了 20-40%，電氣類、機電一體類、氣體/液體/真空系統類產 品佔比普遍在 10-30%之間亞美，。
更細分來看，以盛美上海招股書披露的 2020 年度原材料採購數據為例，機械類 產品中腔體零部件和腔體櫃佔據主要份額，達到 21.61%。氣路類分布相對均衡， 閥門、過濾器、泵、流量計佔比相對較高。同時我們還需要指出，盛美 2020 年 銷售收入中清洗設備佔比較高，超過 80%，各年度間因出貨結構亞美體育是啥、產品迭代等 因素，原材料採購結構亦有變動，該細項拆分比例僅作為大致範圍的參考。
為了測算工藝零部件產品的市場規模，我們假設機械類零組件在半導體設備成本 中佔比約為 30%，其中工藝零部件佔比約 55%，腔體櫃+結構件等佔比約 45%。 氣路類零部件在設備成本中佔比約為25%，其中閥門/過濾器/泵佔比均為20%亞美體育是啥， 流量計佔比約為 15%，接頭佔比約為 7%。 對于設備成本的構成，我們根據 A 股已上市半導體前道設備企業毛利率平均值 取設備毛利率為 45%；根據盛美上海招股書數據，主營業務成本中直接材料佔 比達到 94.47%，則原材料成本在半導體設備銷售額中佔比約為 42%。根據 SEMI 數據，2021 年全球半導體設備銷售規模約為 875 億美元，預計 2022 年 增長至 1010 億美元。 綜合以上假設和數據，2021 年全球半導體設備零部件市場規模約為 367.5 億美 元，其中機械類/管路類佔據主要份額，市場規模分別為 110.25/91.88 億美元。
除了半導體設備企業以外，晶圓廠在建設過程中也需要鋪設大量的管道、閥門等，在 日常生產過程中也需要備品備件，因此晶圓廠對半導體設備零部件亦有採購需求。 一般來說，晶圓廠的設備零部件採購主要通過工程公司進行（如正帆科技、法液空 等），也有部分零部件（如替換件）由晶圓廠向半導體直接向零部件廠商下達採購訂 單。根據芯謀研究數據，2020 年中國大陸晶圓線 寸前道設備零部件採購 金額超過 10 億美元，如果排除海外企業（SK 海力士、三星、英特爾等），國內晶 圓廠直接採購金額約 4.3 億美元。 從採購份額來看，中國晶圓廠採購的設備零部件主要有石英、射頻發生器WRITE AS 爸爸、泵等，份 額均超過 10%。此外，各種閥門、吸盤、噴淋頭、邊緣環的採購佔比也很高。從國 產化比率來看，國產化率超過 10%的有石英成品、噴淋頭、邊緣環等少數幾類，其 餘國產化率均較低。
半導體設備中WRITE AS 爸爸，機械類零部件包括工藝零部件、結構件（金屬/非金屬）兩種類型。 工藝零部件包括各類腔體（過渡腔、傳輸腔、反應腔）、內襯、勻氣盤等。工藝零 部件一般指需要經過高精密機械制造和復雜的表面處理過程機械制造，，具備較高的加工精 度、潔淨度亞美體育是啥，較強的耐腐蝕性、密封性，主要應用于刻蝕、薄膜沉積等設備，也 少量應用于離子注入、高溫擴散等設備。 工藝零部件的技術壁壘在制造環節，尤其是高精度加工、表面處理和焊接技術。 除了加工精度要求較高以外WRITE AS 爸爸，半導體設備工藝零部件與普通機械零部件最大的不 同在于半導體設備零部件需要面對真空、等離子體、特種氣體、腐蝕性液體等特 殊環境，對表面光滑度、潔淨度和零部件密封性均提出了更高要求。工藝零部件 在機械精加工後，還需要經過拋光、陽極氧化、鍍鎳、清洗等環節才可達到性能 參數要求，在加工制造環節有較高壁壘。此外由于陽極氧化、電鍍等環節污染較 大，產線廢棄物排放需滿足當地環保要求，又對企業的相關能力提出了挑戰。
技術進步對工藝零部件企業的材料加工技術和表面處理技術提出了更高要求。以 腔體為例，常見的腔體材料包括不鏽鋼、鋁，其中不鏽鋼一般用在制程較低的半 導體設備中，而高制程設備對于雜質含量的要求更高，不鏽鋼由于化學性質相對 活潑，容易與腔內氣體發生反應形成雜質，因而不再適用。表面經過陽極氧化的 鋁化學性質穩定，是高制程設備的主流選擇。而鋁的陽極氧化工藝相對復雜，產 線需取得環保認證方可投產， 構建了一定壁壘。部分高端設備還會選擇在腔體 內部電鍍氧化釔（Y2O3），對相關企業的材料加工技術提出了進一步要求。
從產品形態上來看，管路類零部件可以分為管道、閥門、泵、連接器等，同時由 這些零組件還可以組成集成氣體輸送系統（IGS）亞美體育是啥、集成歧管系統（IMS）等模塊 化產品。傳統的氣體輸送系統採用氣體控制板（Gas Panel）形式進行控制，佔 地面積較大，維護相對復雜；IGS、IMS 採用模塊化、集成化、立體式設計，可 以氣體系統佔地面積，提升維護效率，已經成為目前工業界氣體系統主流設計方 案之一。
從制造難度上來看，幹法設備管路系統低于濕法設備，且隨著制程技術升級，對 管路系統性能要求將進一步提升。幹法設備中常用的氣體包括氟碳類、惰性氣體 等，所採用的材料一般為鋁、不鏽鋼等，主要制造難度在于零部件的高精度加工 和表面處理，與腔體類似；而濕法設備的管路系統需要承載硫酸、鹽酸等強腐蝕 性化學藥劑，為了保證潔淨度財經消息，，一般需要採用 PTFE、PFA 等高分子材料，其中PTFE 材料熔融態粘度較高，需要採用燒結方法加工，工序步驟較多，雜質含量 較高，主要面向低制程等級設備；PFA 材料可以採用熔融方式加工，且成品表面 會形成一層薄膜，後處理相對簡單，純淨度較高，但加工難度更高，主要面向高 制程等級設備。目前全球管路系統供應商包括派克漢尼汾、超科林、久世、威萊 克、世偉洛克等。
全球半導體設備行業集中度高。根據 Gartner 數據，2021 年四家全球半導體設備 龍頭企業 AMAT、ASML、Lam Research、TEL 佔據超過 70%的份額。也正是因 為下遊需求的高度集中，半導體上遊核心零部件企業也呈現出客戶集中度較高的 狀態。根據富創精密招股書披露，2021 年公司最終銷往客戶 A 的銷售收入佔當 期營業收入比例為 75.24%WRITE AS 爸爸。而京鼎精密第一大客戶的收入佔比超過 80%，超科 林前兩大客戶合計收入佔比亦超過 60%。
盡管下遊集中度較高，但相關企業毛利率受原材料波動影響相對較小，過去數年 間穩步上升。復盤富鼎亞美體育，、超科林毛利率數據容易發現，其毛利率水平在過去數年 間盡管偶爾受到上遊原材料（鋁亞美體育是啥、不鏽鋼等）價格影響有所波動，但整體仍然維 持相對穩定的狀態，在過去約 10 年的時間裡毛利率中樞不斷抬升。我們認為， 該現象源于以下兩個原因：1）半導體設備零部件所採用的原材料主要為偏高端 的 6 系鋁合金、316/316L 高純不鏽鋼等，高端原材料本身價格彈性較小，對相關 企業毛利率水平影響較弱；2）規模增長攤薄固定成本、產品結構升級、生產效能 提升、舊產線折舊攤銷的出清均對毛利率提升有正向貢獻。整體看，我們認為， 對于半導體設備零部件企業，其毛利率受原材料價格影響相對較小，相關企業有 望實現相對穩定的盈利水平。
機械類零部件領域全球玩家較多，行業格局非常分散。海外涉及半導體機械類零 部件的企業包括京鼎精密、Ferrortec、超科林等，國內企業包括新萊應材、靖江 先鋒、託倫斯、江豐電子、富創精密、華亞智能等。半導體設備精密零部件企業 往往關注個別生產工藝或特定產品，行業相對分散，全球龍頭如 Ferrotec、京鼎 精密所佔據的市場份額也不及 5%。
究其原因，我們認為主要是由于半導體設備零部件種類繁多，品種多樣。大部分 企業選擇關注某一細分領域，導致收入規模體量較小。也正由此我們容易推斷出， 對于半導體設備零部件企業，市場份額的持續提升與新產品的持續研發密不可分， 只有不斷投入研發、開拓自身 TAM 的企業才能夠實現長足的增長；同時，在行 業競爭中，產品品類豐富的企業也更能夠保持自身份額和盈利的穩定性。這一模 式或許可以類比半導體行業中的模擬芯片賽道、或醫藥行業的醫療器械賽道，屬 于長坡厚雪、穩健增長的優質行業。
根據富創精密招股書披露，半導體設備企業導入一家零部件供應商，首先需要對 精密零部件供應商進行質量體系認證，該認證週期約為一年。通過質量體系認證 後，客戶會對供應商進行特種工藝認證，包括工藝能力認證和性能指標認證，明 確供應商能夠提供的特種工藝技術和需要達到的產品性能指標，該認證週期約為 一年。此外，質量體系認證和特種工藝認證通過後還需要根據客戶要求定期復核， 不通過復核則無法持續供貨。 冗長的認證過程、嚴格的性能指標要求，是半導體設備零部件賽道的天然壁壘， 率先通過認證的企業更能夠卡位優質產品，提升客戶份額。
全球維度來看，自 2020H2 開始的半導體上行週期在 2021H2 見頂。進入 22H1 以 來，庫存調整成為產業鏈中普遍的現象，在消費賽道尤甚。然而，我們認為，推 動半導體設備資本開支上行的動力並未發生根本變化，短期景氣雖然可能帶來擾 動，但長期看半導體設備資本開支仍將持續上行。根據 IC Insights 數據，2021 年 全球半導體設備資本開始達到 1531 億美元，2011-2021 年 CAGR=8.55%。進入 2022 年，全球半導體設備資本開支仍維持較強狀態，2023 年將有所調整但長期 上升趨勢不改，預計到達 2026 年全球半導體設備資本開支將達到 2092 億美元， 2021-2026 年 CAGR=6.44%。
具體來說，推動半導體設備資本開支上行的動力有：1）晶圓制程不斷升級，單 位產能投資規模亦隨之增長。晶圓制程的升級導致相關設備的要求不斷提升，如 DUV 光刻機變為 EUV 光刻機；CVD 設備改變為 ALD 設備。2）全球半導體需求 增長帶動晶圓產能邊際增量需求持續增長。長期看，汽車電動化、HPC 等領域的 持續增長將不斷帶動半導體需求增長，目前汽車等領域半導體供給仍然有較大缺 口，由此亦將導致邊際晶圓產能投資持續增長。3）海外各國重視半導體自主生 產，本土化需求帶來額外晶圓廠投資。2020 年全球疫情+地緣政治因素導致供應 鏈擾動，海外各國政府對于依賴進口半導體的擔憂加劇，紛紛設立補貼激勵機制， 引導半導體企業在本國建廠進行本土化生產。 公司綁定海外大客戶 A，該客戶為全球規模最大半導體設備企業，其產品線覆蓋 除光刻機外所有產品大類。作為客戶 A 的戰略供應商，富創精密有望充分受益于 全球半導體設備資本開支上行趨勢。
從國內角度來看，國產替代依然是主旋律。2018 年中美貿易摩擦後，半導體設備 國產化進程明顯提速，貢獻國內半導體設備企業最強增長動力。2020 年以前，國 內半導體設備廠商體量小，零部件需求較少，在富創精密的營收中佔比較低。2020 年起，國內半導體設備工藝驗證取得突破，富創國內業務的營收佔比快速增長。 北方華創，拓荊科技，華海清科為三大主要國內客戶。北方華創 2019-2021 年貢 獻的收入分別為 0.14 億，0.51 億，1.61 億，佔比 5.5%、10.5%、19.1%；沈陽拓 荊 2019 年-2021 年分別貢獻收入 0.03 億，0.08 億，0.20 億；華海清科 2020 年與 2021 年的營收貢獻為 0.05 億與 0.25 億。
2020 年之前，國內半導體設備尚處于“追趕”階段，所需的零部件工藝指標變動 頻繁，數量少，難以通過規模化量產降低平均成本;富創精密為保障國內半導體設 備的研發與生產，內銷產品採取低毛利率定價策略；2019 年，公司為提高產能利 用率，承接了附加值較低的光伏泛半導體類訂單；以上多種因素導致內銷業務初 期盈利能力弱于海外業務。 伴隨國內半導體設備企業營收快速增長，公司國內業務毛利率亦大幅提升。展望 未來，國內晶圓廠投資方興未艾；同時我們需要注意到新能源汽車、光伏等快速 增長的下遊需求領域中，中國企業具備較強全球競爭力，由此帶來的半導體器件 國產替代需求亦將持續帶動國內半導體設備需求。此外，SMIC、長存、長鑫等企 業積極投入先進制程研發，國內北方華創、中微公司亦積極布局先進制程半導體 設備，有望持續帶動先進制程零部件需求，進一步提升富創的毛利率水平。 公司與北方華創和中微公司等國內半導體設備企業深度合作，自研發階段起提供 配套零件。報告期內，國內設備企業營收佔比依次為 17%，24%，40%，我們預計隨著國內設備企業的發展，富創精密有望充分受益于國產替代趨勢，營收規模 與盈利能力將進一步增長。
公司在工藝零部件、精密結構件、模組、氣體管路等領域布局全面。如我們前文 提到的，半導體設備零部件種類眾多，全面的產品布局更有助于公司形成具有較 強協同效應的產品組合，為下遊客戶提供完善的產品服務。同時，全面的產品布 局也凸顯了公司強大的技術積累和生產調度能力，是公司長期成長的堅實基礎。
公司也是目前全球少數具備 7 納米制程零部件生產能力的企業。公司的零部件已 在高溫擴散，刻蝕，薄膜沉積三大類設備品類上，進入 7nm 設備並達到了工藝標 準。從 7 納米工藝制程開始，半導體設備對精密零部件的擊穿電壓，潔淨度及耐 腐蝕性要求更為苛刻：如潔淨度無法達到相應要求，金屬零部件在反應中產生的 金屬粒子將影響半導體制造良率；而對于腔室內的零部件，其潔淨度及耐腐蝕性 直接影響著晶圓制造過程中的成品率及零部件的壽命，零部件的更換頻率及更換 週期也直接影響著晶圓廠芯片產量。 面對新一代制程帶來的挑戰，富創精密通過研發新型塗層、高潔淨度清洗工藝、新型鍍膜工藝，來提升零部件的潔淨度以及在晶圓加工設備中的耐腐蝕性，從而 延長零部件的更換週期，提升晶圓加工的良率及效率。此外，公司在精密機械、 表面處理、焊接WRITE AS 爸爸、組裝等制造工藝上的 knowhow 積累，也保證了 7 納米制程零 部件的高質量生產。
截至 2022 年 1 月 31 日，富創精密共取得 7 納米及以下訂單合計 2119 萬元，佔在手訂單總比例 5.02%。展望未來，隨著國產半導體設備逐步邁向高端，國產晶 圓廠突破先進制程，7 納米制程零部件有望在國內銷售上實現 0 的突破。
隨著富創精密營收的快速增長，原有的生產線產能利用率也趨近飽滿。此外，國 內客戶對知識產權與商業秘密的保護不斷提升；國內與國外，國內不同客戶之間 的技術保密，對生產線提出了新的要求。同時，也為了滿足京津冀，長三角集成 電路產業集群的市場需求，公司計劃在南通和北京建設新廠房。新廠能夠有效地 滿足京津冀和長三角兩地日趨增長的零部件需求，進一步形成產業聚集效應，降 低物流和溝通成本，並有效進行不同客戶之間的 IP 隔離。 公司目前產品種類較多，單個產品產量較低，還不具備自動化條件；新廠投入運 營後，公司營收規模將大幅提升。隨著單個產品產量達到一定規模，公司有望布 局產線自動化，拉動收入水平和盈利能力持續增長。 原材料端來看，公司雖已處于半導體產業鏈上遊，但其有部分高純金屬材料自美 日進口；依據招股說明書，2021 年前五大供應商中除華航鋁業為國產供應商之外， 其他四家皆為進口產品供應商。公司對國產高純鋁材持開放態度，積極引入認證 並已取得一定進展。國內高純鋁產業鏈的進步將進一步夯實國產化基礎。
設備方面，公司大多數的高端生產設備（主要是數控機床）來自進口。近年來， 國產設備廠商進入公司生產線 年的採購合同履行清單中，國產設備份額有 一定程度的提升，強化了供應鏈安全性。
半導體設備精密零部件行業屬于技術密集型行業，其長遠發展離不開專業技術人 才的支持。隨著公司進入高速增長期，公司未來對各類人才特別是高端人才的需 求較大，公司計劃採取外部招聘與內部培養相結合的方式，建立一支高素質的團 隊， 滿足公司快速發展的需要。 公司制定了未來三年人力資源規劃和具體實施辦法，建立健全內部組織結構和考 核體系，搭建能夠提高效率和積極性的價值評估及分配制度，以達到崗位人均效 能最大化。公司積極建立員工培訓制度、完善薪酬考核體系、引入高端人才。目前，公司已經完成人力資源的基礎建設及項目工作的前期準備，通過引導及支持 各業務單元的人力發展工作，對重點項目改善類工作進行了系統化落地實施。 此外，公司實施股權激勵制度以保障管理隊伍和人才團隊的穩定。2017 年 12 月， 富創有限股東會同意實施員工股權激勵方案。2018 年 1 月，三家員工持股平台寧 波芯富、寧波芯芯、寧波良芯成立。2018 年 12 月，三家員工持股平台增資入股 富創有限。目前，三家員工持股平台合計持 800 萬股，佔比 5.09%。
